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ニコン投影機と測定顕微鏡の校正(測定)サービス

株式会社ニコン 産業機器事業部は、投影機と測定顕微鏡のISO/IEC17025校正機関として、公益財団法人日本適合性認定協会より認定されております。(ISO/IEC17025:試験所及び校正機関の能力に関する一般要求事項)

認定内容詳細

初回認定日 2006年9月8日
認定の範囲
  • 測定顕微鏡:X/Y軸指示精度
  • 投影機:X/Y軸指示精度と倍率精度
対象部門 産業機器事業部CS推進部
校正場所 顧客先(フィールドサービス)

校正測定能力

測定顕微鏡のX/Y軸指示精度
  • リニアスケール:300 mm以下(0.70 + 5.0 x 10-3 x L)μm
    L は、移動量:mm)
  • マイクロメータ:50 mm以下 0.70 μm
  • 拡張不確かさ(信頼の水準約 95%)
投影機の倍率精度
  • 倍率5倍 (0.006 x (100 / L) x 2.8) %
  • 倍率10倍、20倍 (0.006 x (100 / L) x 2.8) %
  • 倍率50倍 (0.006 x (100 / L) x 2.8) %
  • 倍率100倍 (0.013 x (100 / L) x 2.8) %
    L は、100mm ≤ L ≤ 200mm のスクリーン上での2点間距離 : mm)
投影機のX/Y軸指示精度
  • リニアスケール:250 mm以下 (0.70 + 5.0 x 10-3 x L) μm
    L は、移動量 : mm)
  • マイクロメータ:50 mm以下 0.70μm
  • 拡張不確かさ(信頼の水準約 95%)

詳細は、公益財団法人日本適合性認定協会のホームページをご覧ください。

校正対象号機の条件

室温範囲 18℃から32℃
ステージ部作動 各軸基準位置戻り誤差 2μm以内
上下動部作動 基準位置戻り誤差 10μm以内
解像力(投影機のみ) 透過照明、反射照明共にJIS B 7184:1999測定投影機の許容値を満足している事

サービスのご依頼・お問い合わせ

このサービスにつきましては、ニコン特約店、ニコンインステック、または、株式会社ニコン 産業機器事業部CS推進部CS技術課までお気軽にご用命ください。