NEXIVとウェハ自動搬送装置の組み合わせで、1カセットのウェハを自動測定。
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NEXIVとウェハ自動搬送装置の組み合わせで、1カセットのウェハを自動測定。
| ウェハ自動搬送測定システム VMR3020+NWL860T | ||
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| 適合ウェハサイズ | φ150mm/200mm（SEMI／JEIDA適合、シリコン製） | |
| 標準ウェハキャリア | Entegris社製 150mm：PA182-60MB 200mm：192-80M | |
| 1キャリア当りの処理時間 （25枚連続搬送） |
8分＋NEXIV測定時間 | |
| オリフラ／ノッチ検出 | 非接触・透過型センサによるオリフラ／ノッチ検出 | |
| ウェハ搬送／保持 | 真空吸着式メカ搬送 | |
本体寸法(W×D×H) |
1700×960×1735mm | |
| 設置寸法(W×D) （操作及びメンテナンス領域を除く） |
2750×1100mm | |
| 本体質量 | 約370kg | |
| 用力 | 電力 | AC100V±10%、50／60Hz、最大11.5A |
| 真空 | −800hPa（−600mmHg）、10Nl/min | |
