2次元測定と高さ測定が同時にできる、1台2役のコンフォーカルNEXIV。大型化、高分解能ニーズに応える、大ストロークタイプ、高倍タイプ新登場！
- 視野内高さ測定だけでなく、高精度XYステージによる広範囲での立体形状の評価。 明視野光学系による高精度な2次元長寸法測定ができる1台2役の高機能システムです。
- 最先端パッケージ基板上の微細パターンの立体形状やコブラナリティなどの測定に威力を発揮します。
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2次元測定と高さ測定が同時にできる、1台2役のコンフォーカルNEXIV。大型化、高分解能ニーズに応える、大ストロークタイプ、高倍タイプ新登場！
対物レンズの選択により、微細な高さ測定まで実現したVMZシリーズ。
2つのステージストロークを用意。
測定対象に最適な倍率のモデルを選択していただけるよう、5種類の対物レンズを用意しました。
| Type-S | Type-H | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 倍率 | 1.5× | 3× | 7.5× | 15× | 30× | |
| 作動距離 | 35mm※1 | 24mm | 5mm | 20mm | 5mm | |
| 視野 | コンフォーカル | 8×6mm | 4×3mm | 1.6×1.2mm | 0.8×0.6mm | 0.4×0.3mm |
| 明視野 | 8×6 〜 0.53×0.4mm |
4×3 〜 0.27×0.2mm |
1.6×1.2 〜 0.11×0.08mm |
1.26×0.95 〜 0.1×0.074mm |
0.63×0.47 〜 0.05×0.04mm |
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※1：測定時は、LED リング照明作動距離の24mm が作動距離となります。
