超高精度ステージと高倍率光学系により高精細加工物を高精度に測定。
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超高精度ステージと高倍率光学系により高精細加工物を高精度に測定。
| 本体部 | ||
|---|---|---|
| ストローク（X×Y×Z） | ||
| （高倍対物使用時） | 300×300×150mm | |
| （低倍対物使用時） | 250×300×150mm | |
| 最小表示単位 | 0.01μm | |
| 被検物最大質量 | 30kg | |
| 測定精度 | ||
| U1X, U1Y | 0.6 + 2L/1000μm （被検物質量10kg時） | |
| U2XY | 0.9 + 3L/1000μm （被検物質量10kg時） | |
| Z軸測定精度 | 0.9 + L/150μm | |
| カメラ | 白黒1/3型CCD（プログレッシブスキャン） カラー1/3型CCD |
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| 作動距離 | 高倍対物使用時 9.8mm 低倍対物使用時 32mm | |
| 倍率／視野 | 光学倍率 1〜120× 総合倍率 36〜4320× 視野 4.67×3..5〜0.039×0.029mm |
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| オートフォーカス | TTLレーザAF／イメージAF | |
| 照明 | 垂直落射、透過（高倍ヘッドのみ）、暗視野照明 | |
| 供給電源 | AC100V±10%、50/60Hz | |
| 消費電流 | 最大7A | |
| 寸法（W×D×H）/質量 | ||
| 本体 | 1000×1230×1900mm／約450kg | |
| 本体＋測定台 | 1000×1230×1900mm／約570kg | |
| コントローラ | 250×550×500mm／約31kg | |
| 設置寸法（W×D） | 2400×1400mm | |
| ホストコンピュータ | ||
| 本体 | IBM PC/AT互換機 (Windows®XP) | |
| CRT | 20型TFTカラー | |
