長大ストロークで超高倍測定。
大型ディスプレイパネルの微細な線幅等の測定に。
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長大ストロークで超高倍測定。
大型ディスプレイパネルの微細な線幅等の測定に。
| 本体部 | ||
|---|---|---|
| ストローク（X×Y×Z） | ||
| (高倍対物使用時) | 1200×720×150mm | |
| (低倍対物使用時) | 1150×720×150mm | |
| 最小表示単位 | 0.1μm | |
| 被検物最大質量 | 40kg | |
| 測定精度 | ||
| U1X, U1Y | 2.2 + 4L/1000μm（被検物質量40kg時） | |
| U2XY | 3.2 + 4L/1000μm（被検物質量40kg時） | |
| Z軸測定精度 | 1.5 + L/150μm | |
| カメラ | 白黒1/3型CCD（プログレッシブスキャン） カラー1/3型CCD |
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| 作動距離 | 高倍対物使用時 9.8mm 低倍対物使用時 32mm | |
| 倍率／視野 | 光学倍率 1〜120× 総合倍率 36〜4320× 視野 4.67×3.5〜0.039×0.029mm |
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| オートフォーカス | TTLレーザAF／イメージAF | |
| 照明 | 垂直落射、透過（高倍ヘッドのみ）、暗視野照明 | |
| 供給電源 | AC100V±10%、50/60Hz | |
| 消費電流 | 15A | |
| 寸法（W×D×H）/質量 | ||
| 本体 | - | |
| 本体＋測定台 | 1734×2200×1750mm／約1600kg | |
| コントローラ | 250×550×500mm／約31kg | |
| 設置寸法（W×D） | 3000×2500mm | |
| ホストコンピュータ | ||
| 本体 | IBM PC/AT互換機 (Windows®XP) | |
| CRT | 20型TFTカラー | |
