長大ストロークタイプ

NEXIV VMR-10080

測定対象

• 基板用印刷マスク
• マザー基板

特長

• 1000×800mmの大ストロークで液晶基板、大型プリント基板にも対応
• 15倍ズーム比により、低倍時の広視野と高倍時の高精度を両立
• 表面形状に依存しない高精度AFを実現する高速TTLレーザAF
• 多機能かつユーザーフレンドリーな操作性
• 高速ステージと高速画像処理で高スループット

測定例

仕様

本体部
ストローク（X×Y×Z）		1000×800×150mm
最小表示単位		0.1μm
被検物最大質量		40kg
測定精度
	U1X, U1Y	2 + 4L/1000μm（被検物質量40kg時）
	U2XY	3 + 4L/1000μm（被検物質量40kg時）
Z軸測定精度		1.5 + L/150μm
カメラ		白黒1/3型CCD（プログレッシブスキャン） カラー1/3型CCD
作動距離		50mm
倍率／視野
	タイプ1	光学倍率 0.5〜7.5× 総合倍率 18〜270× 視野 9.33×7〜0.622×0.467mm
	タイプ2	光学倍率 1〜15× 総合倍率 36〜540× 視野 4.67×3.5〜0.311×0.233mm
	タイプ3	光学倍率 2〜30× 総合倍率 72〜1080× 視野 2.33×1.75〜0.155×0.117mm
オートフォーカス		TTLレーザAF／イメージAF
照明		透過、垂直落射、8分割LEDリング照明（中入射角／大入射角）
供給電源		AC100V±10%、50/60Hz
消費電流		最大9A
寸法（W×D×H）/質量
	本体	―
	本体＋測定台	1530×2200×1750mm／約1500kg
	コントローラ	250×550×500mm／約31kg
設置寸法（W×D）		2800×2500mm
ホストコンピュータ
本体		IBM PC/AT互換機 (Windows®XP)
CRT		20型TFTカラー