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立体形状サンプルの測定を目的に開発されたiNEXIV VMA-2520は、従来のNEXIV VMRシリーズの使いやすさと画像処理能力を継承しながら、小型・軽量・省スペースを実現しました。
しかも、XYストローク250mm×200mmに加え、200mmものZ軸ストロークと73.5mmのワーキングディスタンスを実現。機械部品、成型品、医療部品等、高さや段差のある部品の測定が余裕を持って行えます。
また、10倍ズーム光学系を標準搭載。さらに、すべての照明系に高輝度白色LED光源を採用したことにより、カラー観察時の測定精度が安定し、スループットが大幅に向上します。
VMA-2520は設置寸法2000×1000mmの省スペース（測定台、タワーPCおよびラックを含む）。しかも、200mmものZ軸ストロークを有しながら最小高さを750mmに抑えたコンパクト設計。さらに、ベース、ステージ、コラムをはじめ、構造材はすべてアルミ合金化したことにより、本体が72kgという軽量化を実現しています。
測定ヘッドが上下するユニークな構造を採用したVMA-2520のZ軸ストロークは、なんと200mm。XY軸ストロークも250×200mmと広いので、機械部品、成型品、医療部品等、立体形状のサンプルの測定に威力を発揮します。
VMA-2520は、垂直落射、透過、8分割LEDリング照明のすべての照明系に白色LED光源を採用しました。高輝度白色LED照明は色温度が一定でちらつきが少ないため、特にカラー観察時の測定精度が安定します。また、調光反応が速く、スループット向上が可能です。さらに、低消費電力、長寿命（約20,000時間使用可能）なので電球交換の手間が省けるのも魅力です。
十分な精度を得るための高倍率と、ティーチングやサーチのための低倍率・広視野という、どちらのニーズにも対応する5段階／10倍ズーム光学系を標準搭載しました。測定用途専用に開発したバックラッシュの少ないズーム機構で、変倍にともなう倍率、像移動の精度劣化をきわめて低レベルに抑えています。
| 倍率および視野（mm） | |||||
|---|---|---|---|---|---|
| 光学倍率 | 0.35× | 0.6× | 1× | 1.8× | 3.5× |
| 総合倍率 | 14× | 24× | 40× | 73× | 141× |
| 視野（mm） | 13.3×10 | 7.8×5.8 | 4.7×3.5 | 2.6×1.9 | 1.33×1 |
総合倍率は、19型TFTモニタをSXGA（1280×1024画素）モードで設定したときのモニタ上での倍率です。
 0.35× |
 0.6× |
 1× |
 1.8× |
 3.5× |
測定物の表面およびエッジにかけることができる画像AF（オートフォーカス）は、最適アルゴリズムとプログレッシブスキャンタイプのカメラの採用により、高速・高精度を実現しています。
| ストローク（X×Y×Z） | 250×200×200mm | |
| 最小表示単位 | 0.1µm | |
| 被検物最大質量 | 15kg | |
| 最大許容指示誤差 | （XY） | MPEE1：2＋8L/1000µm（被検物質量5kg以下） MPEE2：3＋8L/1000µm |
| （Z） | MPEE1：3＋L/50µm | |
| カメラ | カラー1/3型3CCD（プログレッシブスキャン）／白黒（オプション） | |
| 作動距離 | 73.5mm／レーザAF使用時は63mm（オプション） | |
| 倍率／視野 | 0.35〜3.5×／13.3×10〜1.33×1mm | |
| オートフォーカス | 画像AF／レーザAF（オプション） | |
| 照明 | 透過、垂直落射、8分割LEDリング照明 | |
| 供給電源 | 100V-240V〜、50/60Hz | |
| 消費電流 | 5A-2.5A（ホストコンピュータ等、周辺装置の消費電流は含まず） | |
| 寸法（W×D×H）／質量 | 本体 565×690×740mm（最小高さ時）／72kg 本体＋測定台＋コントローラ 650×700×1360mm／123kg コントローラ 145×400×390mm／13kg |
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| 設置寸法（W×D） | 2000×1000mm（測定台、タワー型PCおよびラックを含む） | |
| ホストコンピュータ | ||
|---|---|---|
| 本体／OS | IBM PC/AT互換機／Windows®XP Pro SP2以上 | |
