本体部
モデル VMR-H3030/TZ VMR-1515/TZ/LU VMR-3020/TZ/LU VMR-6555/TZ/LU VMR-10080/TZ/LU VMR-12072/TZ/LU
ストローク（X×Y×Z） 300×300×150mm 150×150×150mm 300×200×150mm 650×550×150mm 1000×800×150mm 1200×720×150mm
　 標準モデル/LUモデル
　 TZモデル
（高倍対物使用時） 		300×300×150mm 150×150×150mm 300×200×150mm 650×550×150mm 1000×800×150mm 1200×720×150mm
　 （低倍対物使用時） 250×300×150mm 100×150×150mm 250×200×150mm 600×550×150mm 950×800×150mm 1150×720×150mm
最小表示単位 0.01μm 0.1μm
被検物最大質量 30kg 20kg 20kg 30kg 40kg 40kg
測定精度 　 　 　 　 　 　
　 U1X, U1Y 0.6+2L/1000μm
(被検物質量10kg時)		 1.5+4L/1000μm
(被検物質量5kg時)		 1.5+4L/1000μm
(被検物質量5kg時)		 1.5+2.5L/1000μm
(被検物質量30kg時)		 2+4L/1000μm
(被検物質量40kg時)		 2.2+4L/1000μm
(被検物質量40kg時)
　 U2XY 0.9+3L/1000μm
(被検物質量10kg時)		 2.5+4L/1000μm
(被検物質量5kg時)		 2.5+4L/1000μm
(被検物質量5kg時)		 2.5+2.5L/1000μm
(被検物質量30kg時)		 3+4L/1000μm
(被検物質量40kg時)		 3.2+4L/1000μm
(被検物質量40kg時)
Z軸測定精度
(ﾚｰｻﾞAF使用時)		 0.9+L/150μm 1.5+L/150μm
カメラ 白黒1/3型CCD（プログレッシブスキャン）、 カラー1/3型CCD
作動距離 　
　 標準モデル 50mm
　 TZモデル 高倍対物使用時 9.8mm　低倍対物使用時 32mm
　 LUモデル 組み合わせ対物レンズによる
倍率／視野 　
　 標準モデルタイプ1 0.5〜7.5×／9.33×7〜0.622×0.467mm
　 タイプ2 1〜15×／4.67×3.5〜0.311×0.233mm
　 タイプ3 2〜30×／2.33×1.75〜0.155×0.117mm
　 TZモデル 1〜120×／4.67×3..5〜0.039×0.029mm
　 LUモデル 組み合わせ対物レンズによる
オートフォーカス 　
　 標準/TZモデル TTLレーザAF／イメージAF
　 LUモデル イメージAF
照明 　
　 標準モデル 透過、垂直落射、8分割LEDリング照明（中入射角／大入射角）
　 TZモデル 垂直落射、透過（高倍ヘッドのみ）、暗視野照明
　 LUモデル 透過照明、垂直落射照明（明視野または暗視野）
供給電源 AC100V±10%、50/60Hz
消費電流 標準/LUモデル：11A、TZモデル：13A 標準/LUモデル：13A、TZモデル：15A
寸法（W×D×H）/質量 　
　 本体 915×1060×1300mm／約450kg 512×703×1200mm／約180kg 625×728×1195mm／約200kg ― ― ―
　 本体＋測定台 1000×1100×1900mm／約570kg 690×730×1725mm／約220kg 690×730×1725mm／約240kg 1220×1680×1750mm／約600kg 1530×2200×1750mm／約1500kg 1734×2200×1750mm／約1600kg
　 コントローラ 250×550×500mm／約31kg
設置寸法（W×D） 2400×1400mm 2100×1100mm 2100×1100mm 2400×2000mm 2800×2500mm 3000×2500mm
ホストコンピュータ
本体 IBM PC/AT互換機 (Windows®XP)
CRT 20型TFTカラー
※TZモデルは高倍率ヘッド搭載機です。
※TZモデルは日本国外では、Z120モデルと称されます。
　
ウェハ自動搬送測定システム VMR3020+NWL860T
適合ウェハサイズ φ150mm/200mm（SEMI／JEIDA適合、シリコン製）
標準ウェハキャリア Entegris社製 150mm：PA182-60MB 200mm：192-80M
1キャリア当りの処理時間
（25枚連続搬送）		 8分＋NEXIV測定時間
オリフラ／ノッチ検出 非接触・透過型センサによるオリフラ／ノッチ検出
ウェハ搬送／保持 真空吸着式メカ搬送

本体寸法(W×D×H)
（PCラックを除く）

1700×960×1735mm
設置寸法(W×D)
（操作及びメンテナンス領域を除く） 		2750×1100mm
本体質量 約370kg
用力 電力 AC100V±10%、50／60Hz、最大11.5A
真空 −800hPa（−600mmHg）、10Nl/min

ウェハキャリア測定機 VMR-C4540
適合キャリア
（FOUP、FOSB、OC） 		SEMI規格準拠の300mmウェハ用キャリア、
200mmウェハ用キャリア（専用アダプタ使用時）
ストローク　 測定ヘッド（X×Y×Z） 480mm×180mm×400mm
回転テーブル 360°（90°単位）
最小表示単位 0.1μm
ヘッド移動速度 XZ軸：最大200mm/s、Y軸：最大50mm/s

キネマティックプレート回転速度

 90°/2sec.
カメラ 白黒1/2型CCD
光学倍率 0.27×〜2.74×（5段階10×ズーム）
視野 20×16mm〜2.0×1.6mm
被検物最大質量 15kg
測定精度(ﾚｰｻﾞAF使用時) （10＋10L/1000）μm　Lは測定長（mm）
繰り返し精度（2σ） 2μｍ
照明 同軸反射照明、LED斜め照明、LED透過照明
オートフォーカス レーザAF、イメージAF
供給電源 AC100V〜120V / AC200〜240V ±10％、50/60Hz
消費電流 AC100V〜120V （本体約13A / PC約9A）
AC200V〜240V （本体約7A / PC約5A）
サイズ（W×D×H） 1400×1739×2530mm
（搬入時約1400×約1500×約2010mm）
質量 約1400kg
ホストコンピュータ IBM PC/AT互換機（Windows®XP）
モニタ 19型TFT