測定機専用光学系を用い、使いやすくかつ高精度測定を実現。
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測定機専用光学系を用い、使いやすくかつ高精度測定を実現。
高性能顕微鏡に匹敵する高N.A.（0.35）、低ディストーションの対物レンズは、全倍率範囲で50mmの長作動距離を実現。倍率範囲の異なる3タイプのNEXIVのすべてに対応し、低倍観察時の広視野、高倍観察時の高精度のどちらのニーズにも対応できます。
標準倍率ヘッドは、5段階／15倍のCNCハイスピードズームを搭載。測定箇所の大きさに応じて最適な倍率で測定できます。
| タイプ1 | タイプ2 | タイプ3 | |
|---|---|---|---|
| 光学倍率 総合倍率 視野 |
0.5× 18× 9.33×7 |
1× 36× 4.67×3.5 |
2× 72× 2.33×1.75 |
| 光学倍率 総合倍率 視野 |
1× 36× 4.67×3.5 |
2× 72× 2.33×1.75 |
4× 144× 1.165×0.875 |
| 光学倍率 総合倍率 視野 |
2× 72× 2.33×1.75 |
4× 144× 1.165×0.875 |
8× 288× 0.582×0.437 |
| 光学倍率 総合倍率 視野 |
4× 144× 1.165×0.875 |
8× 288× 0.582×0.437 |
16× 576× 0.291×0.218 |
| 光学倍率 総合倍率 視野 |
7.5× 270× 0.622×0.467 |
15× 540× 0.311×0.233 |
30× 1080× 0.155×0.117 |
＊総合倍率は、20型モニタをUXGA（1600×1200画素）モードで設定したときのモニタ上での倍率です
カラーカメラ（オプション）
高分解能、長作動距離の高速TTLレーザオートフォーカス機構を搭載。低倍観察でも段差のある狭部へシャープにオートフォーカスでき、表面形状に依存しない高速AFを実現。1000点／秒の高速ならい測定も可能で、高精度で汎用性の高いZ軸測定が行えます。
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| ▲フェースフォーカス | ▲エッジフォーカス |
TTLレーザAFが使えない部分の測定に有効なイメージ（画像）AFは、最適アルゴリズムとプログレッシブスキャン・タイプのカメラの採用により、高速・高精度を実現しています。
▲照明ウィンドウ
垂直落射、透過、8分割LEDリング照明（中入射角／大入射角）の4系統をCNC制御することにより、あらゆるワーク形状に最適照明を提供。検出しにくかったエッジをシャープに検出でき、高精度な測定が行えます
入射角度が異なる2系統の8分割LEDリング照明を装備。8方向の照明と光量を任意に組み合わせできるので、垂直落射照明ではとらえられない微妙なエッジの検出が可能。セラミックパッケージ・セラミック基板／プリント基板などの測定物に非常に有効です
50mmのワーキングディスタンスが確保できる、角度37°のリング照明です。面取り面など、斜めの面の照明に適しています。
ワーキングディスタンスは小さくなりますが、より急傾斜の面を照明できるので、中入射角では観察が難しいワークをくっきり観察できます（角度は75°固定）。
使用しないときは上に待避させて、50mmのワーキングディスタンスを確保することができます。
