1. ホーム
  2. 学ぶ・知る
  3. 測定機の基礎知識
  4. 測定顕微鏡とは

印刷用ページ

測定顕微鏡とは

測定顕微鏡は、歴史的には正確な倍率で拡大された工具形状等を、像面に設けられたテンプレートと比較して測定、検査するもの(工具顕微鏡)でした。そのため、通常の顕微鏡とは異なり、投影機と同様にテレセントリック光学系となっており、対物レンズは正確な倍率に調整されています。

近年では、視野内測定よりもXY測長ステージによる長さ測定、座標測定が主な使われ方となっており、これに適応したステージストロークの大型化、データ処理の高機能化等が図られています。

また最近は、測定顕微鏡用光学系の倍率の正確さよりも、高倍率観察や微分干渉、簡易偏光観察ができるユニバーサルタイプ(通常の顕微鏡)(MM-400/800シリーズなど)の光学ヘッドを組み合わせたシステムも増えています。また、高倍率観察時の、ピントの合って見える範囲(焦点深度)が狭いことを利用した、高さ測定(Z軸測定)や、FA(フォーカスエイド)鏡筒 (MM-400/800シリーズなど)、デジタル画像撮影等、そのオプション構成により幅広い用途に展開できます。「測定機」にも「顕微鏡」にも使える汎用ツールである点が、多方面で重宝されている所以です。

測定顕微鏡についての詳細な定義、性能、等級、評価方法等については、JIS B 7153 ; 1995 「測定顕微鏡」で規定されています。

テレセントリック光学系

当社、測定顕微鏡及び投影機には、物体側テレセントリック光学系を採用しており、その内容は、下記の通りとなります。

通常の光学系(肉眼、カメラ等)では、近づけば大きく、遠のけば小さく見えることが普通ですが、寸法測定においては看過できない誤差要因となります。テレセントリック光学系(図1、2)では、物体側の主光線が常に光軸と平行であるため、焦点ズレで像がボケても、その高さは変わりません(遠くても近くても同じ大きさに見えます)。

図1-1 通常の収束光学系(凸レンズ)

図1-2 テレセントリック光学系

図2-1 立体図

図2-2 非テレセントリック光学系

図2-3 テレセントリック光学系

関連製品