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白色干渉顕微鏡システム

BW-S500シリーズ / BW-D500シリーズ

白色干渉顕微鏡システム BW-S500シリーズ / BW-D500シリーズ

非接触計測による0.1nm級表面性状評価を実現
低倍率から高倍率まで、同じ高さ分解能で計測可能

ニコン独自の干渉波形データ取得技術および波形処理解析技術 (FVWLI法) により「高さ分解能 1ピコメートル(アルゴリズム)」を実現。

特長・機能

卓抜な計測性能
  • 0.1nm級の超平滑面を、平均化処理やフィルタ処理なしで計測することが可能
  • 低倍率から高倍率まで、同じ高さ分解能で計測することが可能
  • 超平滑面から粗面まで、単一のモードで、光学フィルタなどの交換なしで計測することが可能
  • 高さ計測と同時に、1走査で全焦点画像を取得することが可能
多彩な観察機能
  • 光学顕微鏡として使用することも可能で、高さ計測対象領域において、明暗視野観察、偏光観察、微分干渉観察、蛍光観察などを行うことが可能。

導入効果

マテリアルサイエンス分野の新規開発支援
  • マテリアルサイエンス分野において、精密加工技術の開発を支援します。
  • マテリアルサイエンス分野において、高機能材料の開発を支援します。

高品質な製品を支えるニコン・テクノロジー

白色干渉顕微鏡システム新しいウィンドウで開く

1ナノメートル未満の深さのキズをも可視化できるニコンの白色干渉顕微鏡システムは、先進医療や新エネルギー、航空・宇宙などのマテリアルサイエンスの分野において利用され、革新的な材料の創成に貢献しています。

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