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光干渉顕微鏡システム

BW-S500シリーズ / BW-D500シリーズ

光干渉顕微鏡システム BW-S500シリーズ / BW-D500シリーズ

非接触計測による0.1nm級表面性状評価を実現
低倍率から高倍率まで、同じ高さ分解能で計測可能

ニコン独自の干渉波形データ取得技術および波形処理解析技術 (FVWLI法) により「高さ分解能 1ピコメートル(アルゴリズム)」を実現。

特長・機能

卓抜な計測性能
  • 0.1nm級の超平滑面を、平均化処理やフィルタ処理なしで計測することが可能
  • 低倍率から高倍率まで、同じ高さ分解能で計測することが可能
  • 超平滑面から粗面まで、単一のモードで、光学フィルタなどの交換なしで計測することが可能
  • 高さ計測と同時に、1走査で全焦点画像を取得することが可能
多彩な観察機能
  • 光学顕微鏡として使用することも可能で、高さ計測対象領域において、明暗視野観察、偏光観察、微分干渉観察、蛍光観察などを行うことが可能。

導入効果

マテリアルサイエンス分野の新規開発支援
  • マテリアルサイエンス分野において、精密加工技術の開発を支援します。
  • マテリアルサイエンス分野において、高機能材料の開発を支援します。

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