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半導体検査装置

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半導体の製造工程における各種検査・測定を高精度で行う装置。

半導体検査装置ラインナップ

商品名・概要
自動マクロ検査装置 AMI-3000 MarkⅡ / 3500

高スループットと卓越した検出感度を共に実現。マクロ検査の精度向上や検査の定量化、明確化を図り、より効率的なプロセス管理を可能に。

ウェハ外観検査装置 OPTISTATION-3100 / 3200

定評のあるCFI60光学系を搭載し、コントラストが高く、フレアの少ない鮮明な像を実現。

CCD検査用光源装置 N-SIS Ⅴ

ウェハ段階及びファイナル段階での検査に適した、CCDの検査用光源装置。

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