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半導体分野

半導体の製造工程における高精度な
各種検査・測定ソリューション

マクロ検査の精度向上や検査の定量化や、ウェハ段階から
ファイナル段階での検査に活用可能な装置などをご提供します。

  • 半導体検査装置

    半導体の製造工程における各種検査・測定を高精度で行う装置。

  • 自動測定システム

    ウェハキャリア測定機などの、半導体分野向けの自動測定システム。

  • ウェハローダ

    半導体分野向けの、検査顕微鏡用ウェハローダ。

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