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NEXIV VMZ-R3020 / VMZ-R4540 / VMZ-R6555

仕様

モデル VMZ-R3020 VMZ-R4540 VMZ-R6555
ストローク (X,Y,Z) 標準モデル (タイプ1~4) 300 x 200 x 200mm 450 x 400 x 200mm 650 x 550 x 200mm
タイプTZ (高倍対物使用時) 300 x 200 x 200mm 450 x 400 x 200mm 650 x 550 x 200mm
タイプTZ (低倍対物使用時) 250 x 200 x 200mm 400 x 400 x 200mm 600 x 550 x 200mm
タイプAモデル 300 x 200 x 200mm 450 x 400 x 200mm 650 x 550 x 200mm
最小表示単位 0.01µm
被検物最大質量 20kg 40kg 50kg
測定精度 EUX,MPE EUY,MPE 1.2 + 4L/1000µm
EUXY,MPE 2 + 4L/1000µm
Z軸測定精度 (レーザAF使用時) 1.2 + 5L/1000µm
カメラ 白黒1/3型CCD (プログレッシブスキャン)
カラー1/3型CCD(プログレッシブスキャン/オプション) * タイプ1 / タイプ2 / タイプAカメラヘッドのみ対応
作動距離 標準モデル (タイプ1~3) 50mm
標準モデル (タイプ4) 30mm
タイプTZ 高倍対物使用時:11mm
低倍対物使用時:32mm
タイプAモデル 73.5mm (レーザAF部63mm)
倍率 / 視野 標準モデル (タイプ1) 0.5~7.5x / 9.33x7~0.622x0.467mm
標準モデル (タイプ2) 1~15x / 4.67x3.5~0.311x0.233mm
標準モデル (タイプ3) 2~30x / 2.33x1.75~0.155x0.117mm
標準モデル (タイプ4) 4~60x / 1.165x0.875~0.07x0.068mm
タイプTZ 1~120x / 4.67x3.5~0.039x0.029mm
タイプAモデル 0.35~3.5x / 13.3x10~1.33x1mm
オートフォーカス レーザAF (タイプAはオプション) / イメージAF
照明 標準モデル (タイプ1~4) 垂直落射、透過、8分割リング照明 (* 全系統白色LED光源 / タイプ1,2,3は3角度、タイプ4は1角度)
タイプTZ 垂直落射、透過 (高倍ヘッドのみ)、暗視野照明
タイプAモデル 垂直落射、透過、8分割リング照明 (* 全系統白色LED光源 / 1角度)
供給電源 AC100V±10%、50/60Hz
消費電流 5A~2.5A
寸法 (W x D x H) / 質量 本体 + 測定台 700 x 730 x 1795mm / 約245kg 1000 x 1340 x 1820mm / 約500kg 1200 x 1640 x 1820mm / 約665kg
コントローラ 190 x 450 x 440mm / 15kg
設置寸法 (W x D) 2100 x 1100mm 2300 x 1700mm 2400 x 2000mm

寸法図

VMZ-R3020

(単位:mm)

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VMZ-R4540

(単位:mm)

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VMZ-R6555

(単位:mm)

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