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NEXIV VMZ-R3020 / VMZ-R4540 / VMZ-R6555

仕様

モデル VMZ-R3020 VMZ-R4540 VMZ-R6555
ストローク (X,Y,Z) 標準モデル
(タイプ1~4)
300 x 200 x 200 mm 450 x 400 x 200 mm 650 x 550 x 200 mm
タイプTZ
(高倍対物使用時)
300 x 200 x 200 mm 450 x 400 x 200 mm 650 x 550 x 200 mm
タイプTZ
(低倍対物使用時)
250 x 200 x 200 mm 400 x 400 x 200 mm 600 x 550 x 200 mm
タイプA 300 x 200 x 200 mm 450 x 400 x 200 mm 650 x 550 x 200 mm
最小表示単位 0.01µm
被検物最大質量 20 kg 40 kg 50 kg
測定精度 EUX,MPE EUY,MPE 1.2 + 4L/1000 µm
EUXY,MPE 2 + 4L/1000 µm
Z軸測定精度 (レーザAF使用時) 1.2 + 5L/1000 µm
カメラ 白黒1/3”型CCD
カラー1/3”型CCD ※カラーカメラはタイプ1、2、Aのみ対応
作動距離 タイプ1~3 50 mm
タイプ4 30 mm
タイプTZ 高倍対物使用時:11 mm
低倍対物使用時:32 mm
タイプA 73.5 mm (レーザAF部63 mm)
倍率 / 視野 タイプ1 0.5~7.5x / 9.33x7~0.622x0.467 mm
タイプ2 1~15x / 4.67x3.5~0.311x0.233 mm
タイプ3 2~30x / 2.33x1.75~0.155x0.117 mm
タイプ4 4~60x / 1.165x0.875~0.07x0.068 mm
タイプTZ 1~120x / 4.67x3.5~0.039x0.029 mm
タイプA 0.35~3.5x / 13.3x10~1.33x1mm
オートフォーカス イメージAF、レーザーAF(タイプAはオプション)
照明 タイプ1~4 垂直落射、透過、8分割リング照明 
※全系統白色LED光源 / タイプ1、2、3は3角度、タイプ4は1角度
タイプTZ 垂直落射、透過 (高倍ヘッドのみ)、暗視野照明
タイプA 垂直落射、透過、8分割リング照明
※全系統白色LED光源 / 1角度
供給電源 AC100V±10%、50/60Hz
消費電流 5 A - 2.5 A
寸法 (W x D x H) / 質量 本体 + 測定台 700 x 730 x 1795 mm / 約245 kg 1000 x 1340 x 1820 mm / 約500 kg 1200 x 1640 x 1820 mm / 約665 kg
コントローラー 190 x 450 x 440 mm / 15 kg
設置寸法 (W x D) 2100 x 1100 mm 2300 x 1700 mm 2400 x 2000 mm

寸法図

VMZ-R3020

(単位:mm)

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VMZ-R4540

(単位:mm)

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VMZ-R6555

(単位:mm)

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