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NEXIV VMZ-R3020 / VMZ-R4540 / VMZ-R6555

測定用途に応じた6タイプの光学15倍ズームヘッド

3種6タイプの光学15倍ズームヘッドをご用意。被検物の大きさや要求精度に合わせ、最適なソリューションを実現いたします。

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    総合倍率は、24型TFTモニタをWUXGA(1920×1200画素)モードで設定したときのモニタ上での倍率です。
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    1画素のサイズは目安となります。

厚さ0.1mmの透明体も検出

新レーザーオートフォーカス
新開発センサにより、表面/裏面の信号を分離して正しく検出できます。

TTLレーザオートフォーカスの新開発により、検出性能が大幅に向上。従来の高速/高精度測定に加え、LCD保護膜等を代表とする微小な透明体の厚み検出も可能になりました。

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    タイプAヘッドを除きます

カバーガラス(光学8x)/タイプ2ズームヘッド使用時

3種類の入射角度に対応した8分割LED照明

垂直照明はもちろん、3つの入射角度による照明照射が可能。微妙なエッジの検出をさまざまなサンプルで容易に行えます。全ての照明系に高輝度白色LED光源を採用しているので、ちらつきの少ない安定した画像が得られます。

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    タイプ4、タイプAの8分割リング照明入射角は、それぞれ50°、18°です。

測定用途に応じた6タイプの光学ズームヘッド

標準倍率ズームヘッド(タイプ1~3)

垂直落射/透過/8分割リング(3入射角)の3種類の照明を備えた、低倍~中倍域観察/測定向けのズームヘッドです。サンプルの測定寸法と必要倍率に応じて、各5段階ズームを持つ3タイプからお選び頂けます。

高倍率ズームヘッド(タイプ4/タイプTZ)

中倍~高倍域観察/測定に適したタイプ4と、低倍から高倍までを1台でカバーできるタイプTZの2種をご用意しています。タイプ4は垂直落射/透過/8分割リング(1入射角)、タイプTZは垂直落射/透過(高倍のみ)/暗視野照明を備えています。

広視野ズームヘッド(タイプA)

長作動距離が特長の低倍ズームヘッドです。垂直落射/透過/8分割リング照明(1入射角)の3種の照明を備えています。

測定対象

  • パッケージ
  • 基板
  • プレス部品
  • プローブカード
  • モールド部品
  • 高密度基板

測定例

  • 高密度基板(光学16x)

    TZズームヘッド/暗視野照明

  • モールド部品(光学0.6x)

    タイプAズームヘッド/垂直落射照明

  • ICチップ(光学8x)

    タイプ4ズームヘッド/垂直落射照明

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    ショールームではお取扱いのない製品もございますので、ご来場の際にはお問い合わせください。