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コンフォーカル NEXIV VMZ-Kシリーズ

NEXIV VMZ-K3040 / VMZ-K6555

対物レンズの選択により、微細な高さ測定まで実現したVMZシリーズ
2つのステージストロークを用意

2次元測定と高さ測定が同時にできる、1台2役のコンフォーカルNEXIV。大型化、高分解能ニーズに応える、大ストロークタイプ、高倍タイプ新登場!

NEXIV VMZ-K3040

VMZ-K6555

主な特長

関連製品

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    コンフォーカルNEXIV用のウェハ自動搬送装置。

  • iNEXIV VMAシリーズ

    コンパクトなボディーにマルチセンサー測定性能を凝縮、立体部品の測定用途に対応。

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