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NEXIV VMZ-H3030

NEXIVシリーズの中で最高精度の測定を実現

精密なステージ動作と高性能な光学系により使いやすさとともに、スピーディ、かつNEXIVシリーズの最高精度での測定を実現

主な特徴

  • NEXIVシリーズの最高精度モデル

    EUX,MPE,EUY,MPE : 0.6+2L/1000μm

    EUZ,MPE : 0.9+L/150 µm

    XYZストローク : 300 × 300 × 150mm

  • 測定タイプに応じた5タイプのズームヘッド

    光学ヘッド 光学倍率 主な測定対象
    タイプ1 0.5X - 7.5X 金型、機械部品、(家電、自動車)、
    PCB、電子部品、セラミック部品
    タイプ2 1X - 15X
    タイプ3 2X - 30X 各種電子部品
    タイプ4 4X - 60X 微細パッケージ基板(ライン幅、高)
    タイプ5 1X - 120X ウェハパターン(WLP、バンブ高さ、
    再配線用マスク、MEMSマスク)

関連製品

  • NEXIV VMZ-Rシリーズ

    多彩な立体部品の寸法・形状をより高速・高精度に自動測定。きめ細かな設定が可能。

  • iNEXIV VMAシリーズ

    コンパクトなボディーにマルチセンサー測定性能を凝縮、立体部品の測定用途に対応。

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