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NEXIV VMR-H3030

超高精度タイプのNEXIV

精密なステージ動作と高性能光学系により、高精細加工物を高精度かつスピーディに測定。 マスター測定機にふさわしい最高レベルの精度を実現。

VMR-H3030

  • 測定室の測定原器になる超高精度を実現した「VMR-H3030」

主な特長

  • 被見物に応じた倍率での測定

    15倍ズーム比により、低倍時の広視野と高倍時の高精度測定をスピーディに行います。

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  • 高速・高精度なレーザーオートフォーカス

    高分解能、長作動距離 (50mm) の高速TTLレーザーオートフォーカスを標準装備。低倍観察でも段差のある狭部へシャープにオートフォーカスができ、表面形状に依存しない高速AFを実現。高速倣い測定も可能。

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  • 4系統のCNC制御による多彩な照明

    垂直落射、透過、8分割LEDリング照明(中入射角/大入射角)の4系統をCNC制御することにより、あらゆるワーク形状に最適照明を提供。複雑な形状のエッジもシャープに検出でき、高精度な測定が行えます。

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