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iNEXIV VMA-2520 / VMA-4540 / VMA-6555

使いやすさを極めた高性能iNEXIV VMAシリーズ

高解像度光学系の採用による高い測定性能と、広視野表示をはじめとした使いやすさを同時に実現。

iNEXIV VMA-2520

iNEXIV VMA-4540

iNEXIV VMA-6555

主な特長

  • 使いやすい広視野、シャープでクリアな画像

    ステージ上で最大13 x 10 mmの広視野を確保。5段階の10倍ズームにより、細部の確認も可能です。

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  • 長作動距離対物レンズ

    対物レンズ先端から被検物上の焦点位置まで最大73.5 mmの高さを確保。大きな段差やボスのある被検物の測定にも威力を発揮します。

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  • 大きなXYストロークと、長いZ軸ストローク

    被検物の大きさに応じてXYストロークの異なる3タイプをご用意。200 mmのZ軸ストロークにより、高さのあるサンプルも測定できます。

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  • 繰り返し精度の高いオートフォーカス

    高速・高精度なイメージAFとオプションのレーザーAFが使用可能です。

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  • エッジを際立たせる3種のLED照明

    被検物の形状に応じた3種の照明や、最適な光量・照射方向の選択により、微妙なエッジもシャープに捉えることができます。

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  • インテリジェントサーチ機能、2D CAD設計形状重ね合わせ機能

    配置にばらつきのある測定ターゲットを自動的に検出できる機能や、被検物と設計形状との相違をひと目で確認できる機能を搭載しています。

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  • 測定の可能性を拡げるオプション

    見えない箇所の寸法や側壁角度の測定も可能なタッチプローブをご用意。各機種ともオプションでさらに1.5×の高倍率測定が可能です。

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