| 主要取扱製品 |
メーカー |
装置・型式 |
| 半導体検査顕微鏡 |
ニコン |
φ300mmウェハ検査顕微鏡 エクリプスL300N
LSI検査顕微鏡 エクリプスL200N/L200ND
LSI検査顕微鏡用ウェハローダ NWL200シリーズ
LSI検査顕微鏡用ウェハローダ NWL860/641シリーズ
ワイド/ラインマクロ照明装置
オートフォーカス顕微鏡 AFUシリーズ |
| 液晶検査顕微鏡 |
ニコン |
FPD検査顕微鏡 エクリプスL300ND |
| 工業/金属顕微鏡 |
ニコン |
工業用顕微鏡 エクリプスLV150/LV100Dシリーズ
工業用顕微鏡 エクリプスLV100D-U/LV100DA-U
偏光顕微鏡 エクリプスLV100POL/50iPOL
倒立金属顕微鏡 エクリプスMA200
倒立型金属顕微鏡 エクリプスMA100
ユニバーサルズーム顕微鏡AZ100/AZ100M
システム実体顕微鏡 SMZ1500/1000/800
実体顕微鏡 SMZ745T、SMZ645/660、SMZ445/460
実体顕微鏡 SMZ、SM-5/6 |
| デジタルマイクロスコープ |
ニコン |
ShuttlePix P-400R |
| SEM |
日本FEI |
環境制御型電子顕微鏡 |
| 日本電子 |
卓上走査電子顕微鏡 |
| 工業用ファイバースコープ |
シェリー |
極細径スコープシステム FSC2 |
| 試料作成機 |
ビューラー |
研磨機 エコメット/オートメット
精密低速切断機 アイソメット
埋込機 シンプリメット |
| 半導体検査装置 |
ニコン |
ウエハエッジ検査装置 WES-3000
自動マクロ検査装置 AMI-3000/3300
ウエハ外観検査装置 OPTISTATION-V
ウエハ外観検査装置 OPTISTATION-3100/3200
CCD検査用光源装置 N-SIS III
VMR-K3040ZC用ウエハ搬送システム NWT-3000 |
| 浜松ホトニクス |
エミッション顕微鏡 iPHEMOSシリーズ
発熱画像解析装置 THEMOSシリーズ
IR-OBIRCH解析装置 μAMOSシリーズ
パターン付ウエハ検査装置 XTREAM/EAGLEシリーズ
プラズマ解析装置 プラズマプロセスモニタ
赤外線半導体内部検査装置 |
| オプト・システム |
LED用装置 スクライブ装置・ブレーキング装置・プロービング装置・チップ分類装置
Lasea Diode用装置 スクライブ装置・劈開装置・バー整列装置・チップ検査装置 |
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